Кремний, кварц, стекло, галоидные соединения кремния (часть 2)
Недавно было показано [157], что бор в кремнии можно определять, используя тепловые нейтроны, с чувствитель¬ностью на два порядка выше чувствительности спектральных и фотометрических методов. Метод основан на применении ана¬лизируемого кремния в качестве переходов, сопротивление которых при облучении тепловыми нейтронами меняется в за¬висимости от содержания в них бора. Тяжелые продукты реак¬ции (В10+л), как Li7 и сс-частицы, обладают энергией 2,2 Мэв, что значительно превосходит порог регистрации частиц в слу¬чае поверхностно-барьерных переходов (порог 0,5 Мэв). Отсут-ствие чувствительности к у_лУчам и Р-частицам в широких пределах удельной проводимости кремния упрощает обработку получаемых результатов. Мешающее влияние тяжелых элемен¬тов, делящихся под действием нейтронов других энергетических групп, кроме медленных, устраняется кадмиевым экраном (по кадмиевой разности).
Разработанный метод был применен для определения бора в кремниевых диодах марки Д-203, а также в переходах, изго¬товленных путем диффузии алюминия в n-тип кремния и фос¬фора в р-тип кремния. На диоды подают смещение около 10 в в запорном направлении. Сигнал снимают с последовательного сопротивления, приблизительно равного сопротивлению пере¬хода («*107 ом), и подают на широкополосный усилитель УШ-10, стоканальный анализатор амплитуд «Радуга» и осцил¬лограф ДЭСО-1. Импульсы, соответствующие бору, выделяют¬ся в канале № 7.